微機械或微機電系統(tǒng)(MEMS)是20世紀(jì)80年代后期發(fā)展起來的一門新興的交叉學(xué)科,已被公認(rèn)為21世紀(jì)重點發(fā)展的關(guān)鍵學(xué)科之一。
微機械或微機電系統(tǒng)的實用化依賴于微細(xì)加工技術(shù)的進(jìn)步,金屬微注射成型技術(shù)是批量化高效率生產(chǎn)高精度、高性能微型金屬或陶瓷零件的一種*有效的方法。
金屬微注射成型技術(shù)是指利用MIM工藝生產(chǎn)微米尺寸或微米結(jié)構(gòu)金屬或陶瓷零件的一門工藝技術(shù),一般指尺寸小于1mm或局部微米級精細(xì)結(jié)構(gòu)的精密零件。
目前,采用適當(dāng)?shù)募?xì)粉,可以制取25~50μm厚、局部結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)小于5μm、表面粗糙度大2~3μm的金屬或陶瓷零件。
金屬注射成型零件的尺寸向兩個極端發(fā)展,微米尺寸精密零件有著巨大的市場容量和發(fā)展?jié)摿Α_@些小零件的技術(shù)附加值非常高,例如光纖金屬套、激光導(dǎo)管、印刷電路微型鉆、微電子執(zhí)行器及牙科醫(yī)療等零件,每千克售價為4000~20000美元。
微注射成型產(chǎn)品在執(zhí)行器、傳感器、袖珍消費品、武器、航空航天、電子組裝工具、氧分析儀、過濾器及醫(yī)療保健設(shè)備等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。
限制微注射成型技術(shù)發(fā)展的主要障礙是精密微細(xì)模具的制造、狹窄縫隙的注射充填及為小零件的操作處理。
生產(chǎn)這類高精度微小零件的模具比常規(guī)模具要精密的多,需要用到各類現(xiàn)金為細(xì)加工技術(shù),如光刻加工、電鑄加工、微細(xì)切割、微細(xì)電火花加工等。